The use of self-aligned Ti silicide in integrated Si technology
- Författare
- Tekniska högskolan i Stockholm Wlodek Kaplan
- (Wlodek Kaplan., Härtill 8 uppsatser, Diss. (sammanfattning) Stockholm : Tekn. högsk.)
- Genre
- theses, Avhandlingar
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Tekniska högsk., Kista snabbtr. | 1998 | Sverige, Stockholm, Kista | 72 sidor. ill. 25 cm |